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PulsPlasma® PLANT PulsPlasma® Plant
(Tandem version)
for
plasma assisted chemical vapour
deposition
(PACVD)


Technical data :
Working area : 500 mm diameter
1000 mm height
Pulse current : 60 A
Pulse frequency : < 16 kHz
Input power : 45 kVA


PlaTeG GmbH
Ein Unternehmen der PVA TePla Gruppe
Postfach 210642
57030 Siegen
Deutschland / Germany

Geschäftsführer: Dr. Reinar Grün ; Arnd Bohle
Amtsgericht Siegen, HRB 8070  ;  USt.Id. DE 814730669
e-mail: service@PlaTeG.de


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