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PlaTeG - PlaTeG GmbH
PlaTeG - Die Shuttle-Anlage; Sie besteht aus einer Steuerung, einer Behandlungskammer und 2 seperaten Kammerböden.  

Die Shuttle-Anlage

Die Shuttleanlage ist eine einfache Möglichkeit, die Effizienz einer Anlage zur Plasmaoberflächenbehandlung etwas zu verbessern. Sie besteht aus einer Steuerung, einer Behandlungskammer und 2 seperaten Kammerböden.

Während auf Kammerboden 1 mit aufgesetzter Kammerhaube, ein Behandlungsprozess läuft, kann auf Kammerboden 2 eine neue Charge vorbereitet werden. Wenn die Charge auf Kammerboden 1 soweit abgekühlt ist, dass die Kammer geöffnet werden kann, wird mit der Hubeinrichtung die Kammerhaube auf Kammerboden 2 umgesetzt und dort ein neuer Prozess gestartet.

Gewinn: Die jeweiligen Be- und Entladezeiten der Behandlungskammer.


Ablaufskizze in einer Shuttleanlage; Während auf Kammerboden 1 mit aufgesetzter Kammerhaube, ein Behandlungsprozess läuft, kann auf Kammerboden 2 eine neue Charge vorbereitet werden.
Ablaufskizze in einer Shuttleanlage; Wenn die Charge auf Kammerboden 1 soweit abgekühlt ist, dass die Kammer geöffnet werden kann, wird mit der Hubeinrichtung die Kammerhaube auf Kammerboden 2 umgesetzt und dort ein neuer Prozess gestartet.


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