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Die Shuttleanlage ist eine einfache Möglichkeit, die Effizienz einer Anlage zur Plasmaoberflächenbehandlung etwas zu verbessern.
Sie besteht aus einer Steuerung, einer Behandlungskammer und 2 seperaten Kammerböden.
Während auf Kammerboden 1 mit aufgesetzter Kammerhaube, ein Behandlungsprozess läuft, kann auf Kammerboden 2 eine neue Charge vorbereitet werden.
Wenn die Charge auf Kammerboden 1 soweit abgekühlt ist, dass die Kammer geöffnet werden kann, wird mit der Hubeinrichtung die Kammerhaube auf Kammerboden 2 umgesetzt und dort ein neuer Prozess gestartet.
Gewinn: Die jeweiligen Be- und Entladezeiten der Behandlungskammer.
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